•º¸ÆíÀûÀÎ »ç¿ë•½×¾Æ ¿Ã¸± ¼ö ÀÖ´Â wafer ±³Ã¼•Æí¸®ÇÑ ÆÐÅ·•È¯°æ Ä£ÈÀûÀΕ´ëºÎºÐÀÇ ºó ÆÁ »óÀÚ¿Í ÀÏÄ¡ÇÏ´Â ¸®·Îµå ÆÁ(reload tip)•ÃßõÇÏ´Â ¿ÀÅäŬ·¹À̺ê(autoclave)ÀýÂ÷: 15PSI¿¡¼ 12ºÐ µ¿¾È 120¢ªC.